Сайты ТУСУРа

Современные микро- и нанотехнологии, 2022

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2020 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Год издания: 2022

Основная литература

Современные технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; рец.: В. П. Кривобоков, Е. В. Шестериков ; Минобрнауки России (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 340 с.
Доступно в библиотеке: 46 экземпляров

Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 29 экземпляров

Дополнительная литература

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 46 экземпляров

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Современные микро- и нанотехнологии

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.04

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 1

Семестр: 1, 2

Учебный план набора 2020 года

План в архиве