Сайты ТУСУРа

Современные микро- и нанотехнологии

11.04.04 - Электроника и наноэлектроника (Твердотельная электроника) План в архиве

Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Изучается: 1, 2 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.04

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Современные технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; рец.: В. П. Кривобоков, Е. В. Шестериков ; Минобрнауки России (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 340 с.
Доступно в библиотеке: 46 экземпляров

Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 29 экземпляров

Дополнительная литература

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 46 экземпляров

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 1
Курсовой проект 2

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия2626часов
Практические занятия1818часов
Курсовое проектирование1818часов
Самостоятельная работа6454118часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость14472216часов
426З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПКР-8 Готов обеспечивать технологичность изделий электронной техники и процессов их изготовления, оценивать экономическую эффективность технологических процессов
ПКР-13 Способен к организации и проведению экспериментальных исследований с применением современных средств и методов