Технология кремниевой наноэлектроники

Практико-ориентированное учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе

В соответствии с требованиями профессионального стандарта в результате изучения дисциплины «Технология кремниевой наноэлектроники» магистрант должен приобрести знания в области технологии сверхбольших и сверхбыстродействующий интегральных схем, по исследованиям в новых направлениях, по технико-экономическим и прогностическим исследованиям в отрасли, а также приобрести умения оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления устройств кремниевой наноэлектроники. Для реализации практико-ориентированных аудиторных практических занятий были разработаны индивидуальные задания, предусматривающие расчеты параметров технологических процессов, выбор конкретной технологии с учетом технико-экономических соображений. Обязательным элементом этих практик являются выводы с рекомендацией параметров технологических процессов и оборудованием. Учебно-методическое пособие содержит варианты индивидуальных заданий для аудиторных практических занятий, тестовые контрольные задания, варианты домашних индивидуальных заданий, варианты аудиторных контрольных работ, темы докладов, вопросы для экзамена. В приложениях приведены справочные данные. Пособие предназначено для магистрантов по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» профиль «Твердотельная электроника».

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Технология кремниевой наноэлектроники: Практико-ориентированное учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2017. — 61 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/6845
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2017
Количество страниц: 61
Скачиваний: 81

Оглавление (содержание)

1 ВВЕДЕНИЕ 4

2 ВАРИАНТЫ ИНДИВИДУАЛЬНЫХ ЗАДАНИЙ ДЛЯ АУДИТОРНЫХ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ 10

3 ДОМАШНЕЕ ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ЗАДАНИЕ 37

4 АУДИТОРНАЯ КОНТРОЛЬНАЯ РАБОТА 40

5 ТЕСТОВЫЕ ЗАДАНИЯ 44

6 ТЕМЫ ДОКЛАДОВ ДЛЯ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ 51

7 ЭКЗАМЕН 52

РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА 56

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 58

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 59

ПРИЛОЖЕНИЕ 3 61