Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе
Учебно-методическое пособие по дисциплине «Технология кремниевой наноэлектроники» содержит варианты индивидуальных заданий для аудиторных практических занятий, краткие сведения по тематике заданий и методические указания для их выполнения, индивидуальные домашние задания, варианты аудиторных контрольных работ, тестовые задания, вопросы к экзамену, список рекомендуемой литературы, в приложениях приведены справочные данные. Для студентов направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Кафедра физической электроники
Библиографическая запись:
Чистоедова, И. А. Технология кремниевой наноэлектроники: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе [Электронный ресурс] / И. А. Чистоедова, Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2018. — 61 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7944
Оглавление (содержание)
1. ВВЕДЕНИЕ 4
2. ИНДИВИДУАЛЬНЫЕ ЗАДАНИЯ ДЛЯ ПРАКТИЧЕСКИХ АУДИТОРНЫХ ЗАНЯТИЙ 6
3. ДОМАШНЕЕ ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ЗАДАНИЕ 19
4. АУДИТОРНЫЕ КОНТРОЛЬНЫЕ РАБОТЫ 22
5. ТЕСТОВЫЕ КОНТРОЛЬНЫЕ ЗАДАНИЯ 34
6. ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЕ ВОПРОСЫ 54
РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА 56
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 57
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 58
ПРИЛОЖЕНИЕ 3 61
