Технология кремниевой наноэлектроники

Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе

Учебно-методическое пособие по дисциплине «Технология кремниевой наноэлектроники» содержит варианты индивидуальных заданий для аудиторных практических занятий, краткие сведения по тематике заданий и методические указания для их выполнения, индивидуальные домашние задания, варианты аудиторных контрольных работ, тестовые задания, вопросы к экзамену, список рекомендуемой литературы, в приложениях приведены справочные данные. Для студентов направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Чистоедова, И. А. Технология кремниевой наноэлектроники: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе [Электронный ресурс] / И. А. Чистоедова, Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2018. — 61 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7944
Год издания: 2018
Количество страниц: 61
Скачиваний: 113

Оглавление (содержание)

1. ВВЕДЕНИЕ 4

2. ИНДИВИДУАЛЬНЫЕ ЗАДАНИЯ ДЛЯ ПРАКТИЧЕСКИХ АУДИТОРНЫХ ЗАНЯТИЙ 6

3. ДОМАШНЕЕ ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ЗАДАНИЕ 19

4. АУДИТОРНЫЕ КОНТРОЛЬНЫЕ РАБОТЫ 22

5. ТЕСТОВЫЕ КОНТРОЛЬНЫЕ ЗАДАНИЯ 34

6. ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЕ ВОПРОСЫ 54

РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА 56

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 57

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 58

ПРИЛОЖЕНИЕ 3 61