Технология кремниевой наноэлектроники

11.03.04 - Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника)

Очная форма обучения, план набора 2016 г.

Изучается: 8 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.8

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Основная литература

Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров
Технология СБИС: учебное пособие / Т.И.Данилина, В.А.Кагадей , Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Дополнительная литература

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. / Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М.А.Королев, Т.Ю.Крупкина, М.А.Ревелева. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 397 с.
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. / Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М.А.Королев [и др.]. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 423 с.
Доступно в библиотеке: 35 экземпляров

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 8

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр 5 семестр 6 семестр 7 семестр 8 семестр Всего Единицы
Лекция3636часов
Практическая работа1818часов
Лабораторная работа1616часов
Всего аудиторных занятий7070часов
Из них в интерактивной форме1616часов
Самостоятельная работа7474часов
Всего (без экзамена)144144часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость180180часов
55З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-8 способностью выполнять работы по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники
ПК-9 готовностью организовывать метрологическое обеспечение производства материалов и изделий электронной техники
ПСК-2 готовностью к применению современных технологических процессов и технологического оборудования на этапах разработки и производства изделий микроэлектроники и твердотельной электроники