Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Учебно-методическое пособие обеспечивает самостоятельную работу студентов и аудиторные практические занятия по разделам учебного пособия: основы вакуумной техники (разделы 1-6); термическое испарение в вакууме (раздел 7); ионно-плазменные методы получения нанослоёв (раздел 8); активируемые плазмой методы получения нанослоёв (раздел 9).

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 20 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3868
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 20
Скачиваний: 57

Оглавление (содержание)

Введение.

Методические указания по самостоятельной работе студентов.

Задания для аудиторных

Практических занятий

Варианты заданий для

Контрольной работы № 1

Варианты заданий для

Контрольной работы № 2

Литература.

Приложение 1

Приложение 2

Приложение 3

Приложение 4



Похожие пособия