Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Учебно-методическое пособие обеспечивает самостоятельную работу студентов и аудиторные практические занятия по разделам учебного пособия: основы вакуумной техники (разделы 1-6); термическое испарение в вакууме (раздел 7); ионно-плазменные методы получения нанослоёв (раздел 8); активируемые плазмой методы получения нанослоёв (раздел 9).

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 20 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3868
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 20
Скачиваний: 149

Оглавление (содержание)

Введение.

Методические указания по самостоятельной работе студентов.

Задания для аудиторных

Практических занятий

Варианты заданий для

Контрольной работы № 1

Варианты заданий для

Контрольной работы № 2

Литература.

Приложение 1

Приложение 2

Приложение 3

Приложение 4

List icon

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Учебно-исследовательская работа студентов (УИРС-4)

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО-2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа студентов (УИРС-4)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Технологические процессы в наноэлектронике

11.03.03 Конструирование и технология электронных средств (Конструирование и технология наноэлектронных средств) Очная форма обучения, план набора 2013 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Похожие пособия

Сборник текстов и упражнений для обучения основам технического перевода студентов ТУСУР: Учебно-методическое пособие / Перегудина Е. А., Менгардт Е. Р., Свиридова О. А., Винокурова Н. Н., Белозерова А. Г., Нижевич Е. И., Потапова Т. Н., Тараканова О. И., Соболевская О. В., Шпит Е. И. — 2015. 139 с.

Исследование влияния распределения поля в раскрыве антенны на её диаграмму направленности: Руководство к лабораторной работе / Гошин Г. Г., Никифоров А. Н., Фатеев А. В., Шангина Л. И., Замотринский В. А. — 2013. 28 с.

Основы HR-менеджмента: теория и практика: Учебно-методическое пособие / Ларионова А. В., Суслова Т. И., Орлова В. В., Мальцева М. А., Караваева Д. В., Музыка А. А., Солдатенко К. В., Моисеева Д. М., Артеменко А. В., Видершпан П. Н., Чернецова В. Д. — 2018. 83 с.

Безопасность жизнедеятельности: Методические указания к лабораторным работам по дисциплине / Полякова С. А., Кан А. Г., Лощилов А. Г., Пустовойт А. Ф., Туев В. И., Хорев И. Е., Екимова И. А., Аверьянов Г. А., Петровская Н. Е., Крупеников Б. В., Воронина Г. А. — 2012. 57 с.

Обучение студентов технике академической гребли: Учебное пособие / Павлов П. П., Богомолова И. М., Мисник М. Н., Иванов А. И., Якименко В. Н., Ранцева Л. П. — 2004. 69 с.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос