Технология кремниевой наноэлектроники

11.04.04 - Электроника и наноэлектроника (Твердотельная электроника)

Очная форма обучения, план набора 2018 г.

Изучается: 1, 2 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1

Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.]; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. (103.)
Доступно в библиотеке: 103 экземляра
Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1986. - 367 с. (20)
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров
Данилина Т.И., Смирнов С.В. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС. Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2000. - 140 с. (52)
Доступно в библиотеке: 52 экземляра
Технология кремниевой наноэлектроники : учеб.пособие / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко. - 2-е изд. - Томск : Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 37 экземпляров

Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 1
Курсовое проектирование 2

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр Всего Единицы
Лекция2626часов
Практическая работа1818часов
Курсовая работа (проект)1616часов
Всего аудиторных занятий441660часов
Из них в интерактивной форме1414часов
Самостоятельная работа6492156часов
Всего (без экзамена)108108216часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость144108252часов
437З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-4 способностью к организации и проведению экспериментальных исследований с применением современных средств и методов
ПК-13 готовностью обеспечивать технологичность изделий электронной техники и процессов их изготовления, оценивать экономическую эффективность технологических процессов