Технология кремниевой наноэлектроники, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2018 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2018

Основная литература

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.]; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. (103.)
Доступно в библиотеке: 103 экземляра
Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1986. - 367 с. (20)
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров
Данилина Т.И., Смирнов С.В. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС. Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2000. - 140 с. (52)
Доступно в библиотеке: 52 экземляра
Технология кремниевой наноэлектроники : учеб.пособие / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко. - 2-е изд. - Томск : Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 37 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Технология кремниевой наноэлектроники

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 1

Семестр: 1, 2

Учебный план набора 2018 года

План в архиве