Технология кремниевой наноэлектроники

Методические указания по выполнению курсового проекта

Данное методическое пособие представляет собой методические указания по выполнению курсовых проектов для магистрантов по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Технология кремниевой наноэлектроники».

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Технология кремниевой наноэлектроники: Методические указания по выполнению курсового проекта [Электронный ресурс] / Данилина Т. И. — Томск: ТУСУР, 2017. — 45 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/6844.
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2017
Количество страниц: 45
Скачиваний: 21

Оглавление (содержание)

1 ВВЕДЕНИЕ 4

2 ТЕМАТИКА КУРСОВЫХ ПРОЕКТОВ 6

3 ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ 7

4 РЕКОМЕНДАЦИИ ПО РАСЧЕТУ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ 9

ХАРАКТЕКРИСТИК 9

4.1 Электронно-лучевая литография 9

4.2 Ионная имплантация 12

4.3 Ионное и плазмохимическое травление микроструктур 19

5 ПРИМЕР ВЫПОЛНЕНИЯ ПРАКТИЧЕСКОЙ ЧАСТИ КУРСОВОГО ПРОЕКТА 20

6 ТРЕБОВАНИЯ К ОФОРМЛЕНИЮ ТД 25

СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 28

ПРИЛОЖЕНИЕ А 30

ПРИЛОЖЕНИЕ Б 45


Похожие пособия