Методические указания по выполнению курсового проекта
Кафедра физической электроники
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1 ВВЕДЕНИЕ 4
2 ТЕМАТИКА КУРСОВЫХ ПРОЕКТОВ 6
3 ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ 7
4 РЕКОМЕНДАЦИИ ПО РАСЧЕТУ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ 9
ХАРАКТЕКРИСТИК 9
4.1 Электронно-лучевая литография 9
4.2 Ионная имплантация 12
4.3 Ионное и плазмохимическое травление микроструктур 19
5 ПРИМЕР ВЫПОЛНЕНИЯ ПРАКТИЧЕСКОЙ ЧАСТИ КУРСОВОГО ПРОЕКТА 20
6 ТРЕБОВАНИЯ К ОФОРМЛЕНИЮ ТД 25
СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 28
ПРИЛОЖЕНИЕ А 30
ПРИЛОЖЕНИЕ Б 45
Технология кремниевой наноэлектроники
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (Твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве
Технология кремниевой наноэлектроники
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (Твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве
Современные микро- и нанотехнологии
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (Твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г. План в архиве