Методы диагностики в планарных технологиях

Методические указания к самостоятельной работе и курсовому проектированию для студентов академической магистратуры «Проектирование и технология наноэлектронных средств»

Дисциплина «Методы диагностики в планарных технологиях» является дисциплиной по выбору вариативной части Блока 1 (Б1.В.ДВ.2) основной образовательной программы и учебного плана магистратуры «Проектирование и технология микро- и наноэлектронных средств» направления подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника».

Кафедра конструирования узлов и деталей радиоэлектронной аппаратуры

Библиографическая запись:

Еханин, С. Г. Методы диагностики в планарных технологиях: Методические указания к самостоятельной работе и курсовому проектированию для студентов академической магистратуры «Проектирование и технология наноэлектронных средств» [Электронный ресурс] / С. Г. Еханин. — Томск: ТУСУР, 2016. — 21 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/5937
Автор:   Еханин С. Г.
Год издания: 2016
Количество страниц: 21
Скачиваний: 3

Оглавление (содержание)

Введение

1 Обоснование тем самостоятельной работы и курсового проектирования

2 Предлагаемые темы курсового проектирования

3 Методические указания к курсовому проектированию (курсовой работе)

Литература


Похожие пособия