Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2020 года
Автор:
Орликов Л. Н.
Год издания: 2022
Основная литература
Барыбин, Анатолий Андреевич. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов. - М. : Физматлит , 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке:
130
экземпляров
Дополнительная литература
Степаненко, Игорь Павлович. Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов. - М. : Лаборатория Базовых Знаний , 2004. - 488 с.
Доступно в библиотеке:
224
экземляра
Орликов, Леонид Николаевич. Молекулярно-лучевая эпитаксия : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 107 с.
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Основы вакуумных технологий
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.2.8
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2020 года