Основы вакуумных технологий

Самостоятельная работа направлена на углубление знаний дисциплины и предполагает обобщение изучаемых тем, а темы для самостоятельной проработки обобщают приобретенные знания и позволяют студенту самостоятельно решать задачи, возникающие при внедрении передовых технологий в производстве. В результате изучения дисциплины студент приобретает адекватные современному уровню знаний научно обоснованные принципы производства приборов электроники и наноэлектроники; основные приемы естественно научного подхода к построению физико-математических моделей технологических операций. Это позволяет приобретать умения в выборе критериев и аргументов при решении конкретных профессиональных задач; строить научно обоснованные простейшие физические и математические модели приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники; определять оптимальные режимы проведения технологических операций; использовать для анализа процессов стандартные программные продукты; ориентироваться и владеть стандартными программными средствами компьютерного моделирования схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Основы вакуумных технологий».