Основы вакуумных технологий

Методические указания по самостоятельной работе

Самостоятельная работа направлена на углубление знаний дисциплины и предполагает обобщение изучаемых тем, а темы для самостоятельной проработки обобщают приобретенные знания и позволяют студенту самостоятельно решать задачи, возникающие при внедрении передовых технологий в производстве. В результате изучения дисциплины студент приобретает адекватные современному уровню знаний научно обоснованные принципы производства приборов электроники и наноэлектроники; основные приемы естественно научного подхода к построению физико-математических моделей технологических операций. Это позволяет приобретать умения в выборе критериев и аргументов при решении конкретных профессиональных задач; строить научно обоснованные простейшие физические и математические модели приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники; определять оптимальные режимы проведения технологических операций; использовать для анализа процессов стандартные программные продукты; ориентироваться и владеть стандартными программными средствами компьютерного моделирования схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Основы вакуумных технологий».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Основы вакуумных технологий: Методические указания по самостоятельной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов — Томск: ТУСУР, 2018. — 24 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7676
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Количество страниц: 24
Скачиваний: 5

Оглавление (содержание)

Введение 5

Раздел 1 Вакуумная технология 6

1.1 Содержание раздела 6

1.2 Методические указания по изучению раздела 6

1.3 Вопросы для самопроверки 6

Раздел 2 Расчет вакуумных систем 7

2.1 Содержание раздела 7

2.2 Методические указания по изучению раздела 7

2.3 Вопросы для самопроверки 8

Раздел 3 Подготовка изделий к технологическим операциям. 8

3.1 Содержание раздела 8

3.2 Методические указания по изучению раздела 8

3.3 Вопросы для самопроверки 9

Раздел 4 Пленочная технология, эпитаксия 9

4.1 Содержание раздела 9

4.2 Методические указания по изучению раздела 9

4.3 Вопросы для самопроверки 10

Раздел 5 Сертификация технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов 11

5.1 Содержание раздела 11

5.2 Методические указания по изучению раздела 11

5.3 Вопросы для самопроверки 12

Раздел 6 Разработка инструкций по эксплуатации используемых технического

оборудования и программного обеспечения для обслуживающего персонала 13

6.1 Содержание раздела 13

6.2 Методические указания по изучению раздела 13

6.3 Вопросы для самопроверки 13

7 Лабораторные работы 14

8 Практические занятия 16

9 Подготовка к контрольной работе 18

10 Темы для самостоятельного изучения 20

Заключение 22

Рекомендуемая литература 23