Основы вакуумных технологий

1 Вакуумная технология 6

1.1 Общие понятия 6

1.2 Типовые вакуумные системы и установки 6

1.3 Единицы измерения давления и потока 8

1.4 Режимы течения газа 9

1.5 Проводимость вакуумных коммуникаций 9

1.6 Основное уравнение вакуумной техники 11

1.7 Технология получения вакуума 12

1.8 Измерение вакуума 20

2 Расчет вакуумных систем 23

2.1 Методика расчета вакуумных систем 23

2.2 Методики экспериментального исследования вакуумных систем на герметичность 27

2.3 Тенденции развития вакуумной техники 28

3 Подготовка изделий к технологическим операциям 33

3.1 Источники загрязнений при производстве приборов 33

3.2 Закономерности газовыделения из изделий 33

3.3 Вакуумная гигиена 34

4 Пленочная технология 37

4.1 Назначение и типы пленок 37

4.2 Методы синтеза пленочных материалов 37

4.3 Термовакуумное формирование пленок 38

4.4 Условия, влияющие на формирование пленки при термовакуумном напылении 42

4.5 Получение пленок равномерной толщины 43

4.6 Адгезия пленок 44

4.7 Измерение скорости напыления и толщины пленок 46

4.8 Методы измерения параметров напыления 48

4.9 Экспресс методы сравнительного анализа толщины пленок 52

4.10 Специальные методы нанесения пленок 53

4.11 Эпитаксия 60

4.12 МОС - гидридная эпитаксия 61

4.13 Молекулярно-лучевая эпитаксия 62

5 Сертификация технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов 72

5.1 Общие понятия 72

5.2 Маркировка эпитаксиальных структур 70

6 Разработка инструкций по эксплуатации используемых технического оборудования и программного обеспечения для обслуживающего персонала 73

6.1 Инструкция по эксплуатации оборудования 74

6.2 Инструкции по сервисному обслуживанию различных типов вакуумных установок 76

6.3 Аварийные режимы вакуумного оборудования и методы реанимации режимов 83

6.4 Инструкции по эксплуатации ЭВМ 85

Список рекомендуемой литературы 88