Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Целью цикла этих лабораторных работ является приобретение студентами практических навыков работы на вакуумном технологическом оборудовании для получения нанослоев различными методами.

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 28 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3867
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 28
Скачиваний: 300

Оглавление (содержание)

Введение

1. Механические вакуумные насосы для предварительной откачки ваукуумной установки

2. Вакуумные напылительные установки

3. Осаждение резистивных и проводящих пленок методом термического испарения в вакууме

4. Ионно-плазменный метод получения нанослоев

List icon

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО-2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Технологические процессы в наноэлектронике

11.03.03 Конструирование и технология электронных средств (Конструирование и технология наноэлектронных средств) Очная форма обучения, план набора 2013 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Похожие пособия

Сборник текстов и упражнений для обучения основам технического перевода студентов ТУСУР: Учебно-методическое пособие / Перегудина Е. А., Менгардт Е. Р., Свиридова О. А., Винокурова Н. Н., Белозерова А. Г., Нижевич Е. И., Потапова Т. Н., Тараканова О. И., Соболевская О. В., Шпит Е. И. — 2015. 139 с.

Исследование влияния распределения поля в раскрыве антенны на её диаграмму направленности: Руководство к лабораторной работе / Гошин Г. Г., Никифоров А. Н., Фатеев А. В., Шангина Л. И., Замотринский В. А. — 2013. 28 с.

Основы HR-менеджмента: теория и практика: Учебно-методическое пособие / Ларионова А. В., Суслова Т. И., Орлова В. В., Мальцева М. А., Караваева Д. В., Музыка А. А., Солдатенко К. В., Моисеева Д. М., Артеменко А. В., Видершпан П. Н., Чернецова В. Д. — 2018. 83 с.

Безопасность жизнедеятельности: Методические указания для проведения практических занятий и организации самостоятельной работы студентов / Екимова И. А., Тихонова М. В., Аверьянов Г. А., Петровская Н. Е., Туев В. И. — 2012. 151 с.

Безопасность жизнедеятельности: Методические указания к лабораторным работам по дисциплине / Полякова С. А., Кан А. Г., Лощилов А. Г., Пустовойт А. Ф., Туев В. И., Хорев И. Е., Екимова И. А., Аверьянов Г. А., Петровская Н. Е., Крупеников Б. В., Воронина Г. А. — 2012. 57 с.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос