Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Целью цикла этих лабораторных работ является приобретение студентами практических навыков работы на вакуумном технологическом оборудовании для получения нанослоев различными методами.

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 28 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3867
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 28
Скачиваний: 142

Оглавление (содержание)

Введение

1. Механические вакуумные насосы для предварительной откачки ваукуумной установки

2. Вакуумные напылительные установки

3. Осаждение резистивных и проводящих пленок методом термического испарения в вакууме

4. Ионно-плазменный метод получения нанослоев



Похожие пособия