Основы вакуумной технологии

Методические указания к практическим занятиям

Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при обработке материалов и изделий в вакууме. Уделяется внимание процессам обеспечения условий формирования нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по расчету вакуумных систем, элементов вакуумных приборов электроники и наноэлектроники. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Основы вакуумных технологий».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Основы вакуумной технологии: Методические указания к практическим занятиям [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов — Томск: ТУСУР, 2017. — 26 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7382
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2017
Количество страниц: 26
Скачиваний: 8

Оглавление (содержание)

Практическое занятие 1. Вакуумная технология 5

1.1 Основные понятия 5

1.1.1 Единицы измерения давления и потока 5

1.1.2 Режимы течения газа 5

1.1.3 Проводимость и пропускная способность вакуумных коммуникаций 6

1.1.4 Основное уравнение вакуумной техники 7

1.1.5 Расчет вакуумных систем 8

1.1.6 Согласование откачных средств 10

1.2 Примеры решения задач по теме 10

1.3 Задачи для проработки темы 11

Практическое занятие 2.Подготовка изделий к технологическим операциям 12

2.1 Основные понятия 12

2.2 Примеры решения задач по теме 14

2.3 Задачи для проработки темы 14

Практическое занятие 3.Технология электровакуумных приборов 16

3.1 Основные понятия 16

3.2 Примеры решения задач 17

3.3 Задачи для проработки темы 17

Практическое занятие 4. Пленочная технология, эпитаксия 19

4.1 Основные понятия 19

4.2 Примеры решения задач по теме 20

4.3 Задачи для проработки темы 20

Практическое занятие 5 Сертификация, инструкции, последовательности операций 22

5.1 Основные понятия 22

5.2 Примеры решения задач 22

5.3 Задания для проработки темы 25

Рекомендуемая литература 26