Методические указания к практическим занятиям
Кафедра экономической математики, информатики и статистики
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение
Тема 1. Введение. Основные определения и физические основы нанотехнологий фотоники
Занятие 1. Безмасляные вакуумные системы для эпитаксии и их расчет
Методические указания
Пример расчета вакуумной системы
Тема 2. Эпитаксия, нанесение металлов и диэлектриков
Занятие 1. Расчет параметров формирования нанослоев (скорости,толщины, массопереноса)
Методические указания
Задачи
Занятие 2. Разработка алгоритма работы эпитаксиального вакуумного оборудования
Занятие 3. Расчет параметров газофазных реакций, расчет сорбционных и диффузионных процессов
Занятие 4. Расчет электрофизических параметров оборудования для формирования и обработки эпитаксиальных нанослоев
Методические указания
Задачи
Тема 3. Методы оптической литографии. Современные технологии оптической литографии: концепции развития, основы нанолитографии,иммерсионная литография, голографическая литография
Занятия 1. Решение задач по теме литографии
Тема 4. Формирование периодических наноструктур в диэлектрических и полупроводниковых средах с различной размерностью
Занятие 1. Разработка маршрутной карты для формирования покрытий в вакууме
Занятие 2. Разработка операционных карт техпроцесса
Занятие 3. Расчет параметров технологичности процесса формирования нанослоев
Методические указания
Пример решения задач
Список литературы
