Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники

Методические указания к практическим занятиям

В пособии рассматриваются физические принципы формирования приборов оптической электроники и наноэлектроники; основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов; современные технологии, применяемые при производстве приборов оптической электроники и наноэлектроники. Выделены основные пути использования вакуумной, ионно-плазменой, электронно-лучевой и лазерной технологии в изготовлении приборов оптической электроники; рассмотрены основы автоматизации процессов производства приборов и устройств. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники: Методические указания к практическим занятиям [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2018. — 36 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/8247
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Количество страниц: 36
Скачиваний: 26

Оглавление (содержание)

Введение 5

Практическое занятие 1. Технология интегральных микросхем, литография 6

1.1 Основные понятия 6

1.2 Примеры решения задач по теме 8

1.3 Задачи для проработки темы 8

1.4 Ответы к задачам 9

Практическое занятие 2. Специальные вопросы технологии электровакуумных приборов оптической электроники 10

2.1 Основные понятия 10

2.2 Примеры решения задач по теме 11

2.3 Задачи для проработки темы 12

2.4 Ответы к задачам 13

Практическое занятие 3. Вакуумная, электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология 14

3.1 Основные понятия 14

3.2 Примеры решения задач по теме 15

3.3 Задачи по проработки темы 16

3.4 Ответы к задачам 17

Практическое занятие 4. Автоматизация технологических процессов производства приборов оптической электроники 18

4.1 Основные понятия 18

4.2 Примеры решения задач по теме 18

4.3 Задачи для проработки темы 18

4.4 Ответы к задачам 20

Практическое занятие 5. Числовое программное управление в производстве приборов оптической электроники 21

5.1 Основные понятия 21

5.2 Примеры решения задач по теме 21

5.3 Задачи для проработки темы 22

5.4 Ответы к задачам 23

Практическое занятие 6. Моделирование технологических процессов производства приборов оптической электроники 24

6.1 Основные понятия 24

6.2 Примеры решения задач по теме 24

6.3 Задачи для проработки темы 25

6.4 Ответы к задачам 27

Практическое занятие 7. Компьютеризация технологических процессов 28

7.1 Основные понятия 28

7.2 Примеры решения задач по теме 28

7.3 Задачи для решения по теме 29

7.4 Ответы к задачам 30

Практическое занятие 8. Системы автоматического управления технологическими процессами 31

8.1 Основные понятия 31

8.2 Примеры решения задач по теме 31

8.3 Задачи для решения по теме 32

8.4 Ответы к задачам 34

Рекомендуемая литература 35