Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники

Введение 5

Практическое занятие 1. Технология интегральных микросхем, литография 6

1.1 Основные понятия 6

1.2 Примеры решения задач по теме 8

1.3 Задачи для проработки темы 8

1.4 Ответы к задачам 9

Практическое занятие 2. Специальные вопросы технологии электровакуумных приборов оптической электроники 10

2.1 Основные понятия 10

2.2 Примеры решения задач по теме 11

2.3 Задачи для проработки темы 12

2.4 Ответы к задачам 13

Практическое занятие 3. Вакуумная, электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология 14

3.1 Основные понятия 14

3.2 Примеры решения задач по теме 15

3.3 Задачи по проработки темы 16

3.4 Ответы к задачам 17

Практическое занятие 4. Автоматизация технологических процессов производства приборов оптической электроники 18

4.1 Основные понятия 18

4.2 Примеры решения задач по теме 18

4.3 Задачи для проработки темы 18

4.4 Ответы к задачам 20

Практическое занятие 5. Числовое программное управление в производстве приборов оптической электроники 21

5.1 Основные понятия 21

5.2 Примеры решения задач по теме 21

5.3 Задачи для проработки темы 22

5.4 Ответы к задачам 23

Практическое занятие 6. Моделирование технологических процессов производства приборов оптической электроники 24

6.1 Основные понятия 24

6.2 Примеры решения задач по теме 24

6.3 Задачи для проработки темы 25

6.4 Ответы к задачам 27

Практическое занятие 7. Компьютеризация технологических процессов 28

7.1 Основные понятия 28

7.2 Примеры решения задач по теме 28

7.3 Задачи для решения по теме 29

7.4 Ответы к задачам 30

Практическое занятие 8. Системы автоматического управления технологическими процессами 31

8.1 Основные понятия 31

8.2 Примеры решения задач по теме 31

8.3 Задачи для решения по теме 32

8.4 Ответы к задачам 34

Рекомендуемая литература 35