Технология материалов и изделий электронной техники

Методические указания к практическим занятиям

Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» по дисциплине «Технология материалов и изделий электронной техники».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Технология материалов и изделий электронной техники: Методические указания к практическим занятиям [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 31 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1379
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2012
Количество страниц: 31
Скачиваний: 3

Оглавление (содержание)

Введение

1 Технологичность и проектирование технологий

1.1 Основные понятия

1.2 Примеры решения задач по теме

1.3 Задачи для проработки темы

2 Вакуумная технология

2.1 Основные понятия

2.2 Примеры решения задач

2.3 Задачи для проработки темы

3 Подготовка изделий к технологическим операциям

3.1 Основные понятия

3.2 Примеры решения задач

3.3 Задачи для проработки темы

4 Пленочная технология, эпитаксия

4.1 Основные понятия

4.2 Примеры решения задач

4.3 Задачи для проработки темы

5 Технология интегральных микросхем, интегральная оптика, литография,

термические процессы

5.1 Основные понятия

5.2 Примеры решения задач

5.3 Задачи для проработки темы

6 Технология электровакуумных приборов

6.1 Основные понятия

6.2 Примеры решения задач

6.3 Задачи для проработки темы

7 Лучевые технологии (электронно-лучевая, лазерная)

7.1 Основные понятия

7.2 Примеры решения задач

7.3 Задачи для проработки темы

8 Высокие технологии (упрочняющая, плазменная, порошковая)

8.1 Основные понятия

8.2 Примеры решения задач

8.3 Задачи для проработки темы

9 Автоматизация технологических процессов

9.1 Основные понятия

9.2 Примеры решения задач

9.3 Задачи для проработки темы

10 Числовое программное управление

10.1 Основные понятия

10.2 Примеры решения задач

10.3 Задачи для проработки темы

Ответы на задачи