Основы вакуумных технологий

Методические указания к практическим занятиям для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника

Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при обработке материалов и изделий в вакууме. Уделяется внимание процессам обеспечения условий формирования нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по расчету вакуумных систем, элементов вакуумных приборов электроники и наноэлектроники.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Основы вакуумных технологий: Методические указания к практическим занятиям для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 29 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3437
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 29
Скачиваний: 3

Оглавление (содержание)

Введение

Практическое занятие 1. Вакуумная технология

1.1 Основные понятия

1.1.1 Единицы измерения давления и потока

1.1.2 Режимы течения газа

1.1.3 Проводимость и пропускная способность вакуумных коммуникаций

1.1.4 Основное уравнение вакуумной техники

1.1.5 Расчет вакуумных систем

1.1.6 Согласование откачных средств

1.2 Примеры решения задач по теме

1.3 Задачи для проработки темы

Практическое занятие 2. Подготовка изделий к технологическим операциям

2.1 Основные понятия

2.2 Примеры решения задач по теме

2.3 Задачи для проработки темы

Практическое занятие 3. Технология электровакуумных приборов

3.1 Основные понятия

3.2 Примеры решения задач

3.3 Задачи для проработки темы

Практическое занятие 4. Пленочная технология, эпитаксия

4.1 Основные понятия

4.2 Примеры решения задач по теме

4.3 Задачи для проработки темы

Практическое занятие 5 Сертификация, инструкции, последовательности операций

5.1 Основные понятия

5.2 Примеры решения задач

5.3 Задания для проработки темы

Рекомендуемая литература