Учебно-методическое пособие к практическим занятиям
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение
1 Вакуумная технология
1.1 Основные понятия
1.1.1 Единицы измерения давления и потока
1.1.2 Режимы течения газа
1.1.3 Проводимость и пропускная способность вакуумных коммуникаций
1.1.4 Основное уравнение вакуумной техники
1.1.5 Расчет вакуумных систем
1.1.6 Согласование откачных средств
1.2 Примеры решения задач по теме 1
1.3 Задачи для проработки темы 1
2 Подготовка изделий к технологическим операциям
2.1 Основные понятия
2.2 Примеры решения задач по теме 2
2.3 Задачи для самостоятельной проработки по теме 2
3 Пленочная технология, эпитаксия
3.1 Основные понятия
3.2 Примеры решения задач по теме 3
4 Сертификация, инструкции, последовательности операций
4.1 Основные понятия
4.2 Примеры решения задач
5 Решение ситуационных задач по моделированию работы вакуумных систем (Интерактивное занятие)
Рекомендуемая литература