Сайты ТУСУРа

Исследование вакуумной системы на герметичность

Методические указания к лабораторной работе

В данной работе на основании данных по расходу газа, давлениям, длине свободного пробега молекул проводится оптимизация одного параметра - герметичности. В общем случае задача сводится к генератору задачи, решаемой относительно требуемых параметров. Целью работы является освоение методов течеискания. В ходе выполнения работы у студентов формируются: способность строить простейшие физические и математические модели приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения, а также использовать стандартные программные средства их компьютерного моделирования; способность аргументировано выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по курсу «Основы вакуумных технологий».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование вакуумной системы на герметичность: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов — Томск: ТУСУР, 2018. — 11 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7413
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Количество страниц: 11
Скачиваний: 80

Оглавление (содержание)

1 Введение 5

2 Теоретическая часть 5

3 Экспериментальная часть 7

3.1 Методические указания по выполнению работы 8

3.2 Вопросы для подготовки к работе 9

3.3 Содержание отчета 9

Рекомендуемая литература 10



Похожие пособия