Исследование проводимости вакуумных коммуникаций

Методические указания к лабораторной работе

В данной работе на основании данных по расходу газа, давлениям, длине свободного пробега молекул проводится оптимизация одного параметра - проводимости. В общем случае задача сводится к генератору задачи, решаемой относительно требуемых параметров. Такие задачи без применения ЭВМ решать не представляется возможным. Кроме того, богатый математический аппарат вакуумной техники позволяет поддерживать системность в общении с компьютером, независимо от стартового уровня знаний в области. В работе строятся простейшие физические и математические модели вакуумных схем установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения с использованием стандартных программных средств компьютерного моделирования. Это позволяет аргументированно выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по курсу «Основы вакуумных технологий».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование проводимости вакуумных коммуникаций: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов — Томск: ТУСУР, 2018. — 15 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7412
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Количество страниц: 15
Скачиваний: 7

Оглавление (содержание)

1 Введение 5

2 Теоретическая часть 5

2.1 Режимы течения газа 5

2.2 Критерии подобия течения газов 7

2.3 Сопротивление течению, проводимость 7

2.4 Контрольные вопросы 8

3 Экспериментальная часть 8

3.1 Вакуумное оборудование 8

3.2 Измерительное оборудование 9

3.3 Порядок работы на установке 9

3.4 Задание по экспериментальной части 10

4 Расчетная часть 11

4.1 Методика обработки результатов эксперимента 11

4.2 Расчетные соотношения для откачки через трубопровод 11

4.3 Соотношения для расчета параметров откачки 13

4.4 Задание по расчетной части 13

5 Содержание отчета 14

Рекомендуемая литература 14


Похожие пособия