Методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 - Электроника и наноэлектроника
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1. Введение
2. Теоретическая часть
2.1. Режимы течения газа
2.2. Критерии подобия течения газов
2.3. Сопротивление течения, проводимость
2.4. Контрольные вопросы
3. Экспериментальная чисть
3.1. Вакуумное оборудование
3.2. Измерительное оборудование
3.3. Порядок работы на установке
3.4. Задание по экспериментальной части
4. Расчетная часть
4.1. Методика обработки результатов эксперимента
4.2. Расчетные соотношения для откачки через трубопровод
4.3. Соотношения для расчета параметров откачки
4.4. Задание по расчетной части
5. Содержание отчета
Рекомендуемая литература