Исследование проводимости вакуумных коммуникаций

Методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 - Электроника и наноэлектроника

В данной работе на основании данных по расходу газа, давлениям, длине свободного пробега молекул проводится оптимизация одного параметра - проводимости. В общем случае задача сводится к генератору задачи, решаемой относительно требуемых параметров. Такие задачи без применения ЭВМ решать не представляется возможным. Кроме того, богатый математический аппарат вакуумной техники позволяет поддерживать системность в общении с компьютером, независимо от стартового уровня знаний в области. В ходе выполнения работы у студентов формируется способность строить простейшие физические и математические модели приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения, а также использовать стандартные программные средства их компьютерного моделирования (ПК-19)

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование проводимости вакуумных коммуникаций: Методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 - Электроника и наноэлектроника [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 15 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3433
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 15
Скачиваний: 2

Оглавление (содержание)

1. Введение

2. Теоретическая часть

2.1. Режимы течения газа

2.2. Критерии подобия течения газов

2.3. Сопротивление течения, проводимость

2.4. Контрольные вопросы

3. Экспериментальная чисть

3.1. Вакуумное оборудование

3.2. Измерительное оборудование

3.3. Порядок работы на установке

3.4. Задание по экспериментальной части

4. Расчетная часть

4.1. Методика обработки результатов эксперимента

4.2. Расчетные соотношения для откачки через трубопровод

4.3. Соотношения для расчета параметров откачки

4.4. Задание по расчетной части

5. Содержание отчета

Рекомендуемая литература