Методические указания к лабораторной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1 Введение 5
2 Теоретическая часть 5
2.1. Модели ионного распыления 5
2.2 Эффективность ионного распыления 6
2.3 Скорость распыления материалов 9
2.4 Влияние рода газа на травление 9
2.5 Скорость осаждения пленок при ионном распылении 10
2.6 Вольт-амперная характеристика газоразрядного устройства для обработки материалов 10
2.7 Контрольные вопросы 11
3 Экспериментальная часть 12
3.1 Вакуумное оборудование 12
3.2 Электронное оборудование 13
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания 14
3.4 Вопросы для самопроверки 15
3.5 Содержание отчета 16
Список литературы 16
Основы вакуумных технологий
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве
Основы вакуумных технологий
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве
Основы вакуумных технологий
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве
Основы вакуумных технологий
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве