Методические указания к лабораторным работам
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Лабораторная работа 1. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИОННОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ ...... 5
1 Введение .................................................................................................................................. 5
2 Теоретическая часть ................................................................................................................ 5
2.1. Модели ионного распыления ................................................................................................ 5
2.2 Эффективность ионного распыления ..................................................................................... 6
2.3 Скорость распыления материалов .......................................................................................... 9
2.4 Влияние рода газа на травление ............................................................................................. 9
2.5 Скорость осаждения пленок при ионном распылении ........................................................... 10
2.6 Вольт-амперная характеристика газоразрядного устройства для обработки материалов.................................................................................................................................... 10
2.7 Контрольные вопросы ............................................................................................................. 11
3 Экспериментальная часть ........................................................................................................... 12
3.1 Вакуумное оборудование ........................................................................................................ 12
3.2 Электронное оборудование ..................................................................................................... 13
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания .......................................................... 14
3.4 Вопросы для самопроверки ...................................................................................................... 15
3.5 Содержание отчета .................................................................................................................... 16
Лабораторная работа 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИОННОПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ ...... 17
1 Введение ...................................................................................................................................... 17
2 Теоретическая часть ..................................................................................................................... 17
2.1 Плазма и ее свойства ................................................................................................................. 17
2.2 Ионизация газов ......................................................................................................................... 19
2.3 Ионно-плазменное распыление .................................................................................................. 20
2.4 Основные требования к оборудованию для ионно-плазменного распыления ............................ 22
2.5 Электрофизические параметры систем ионно-плазменного распыления ................................... 23
2.6 Контрольные вопросы ................................................................................................................. 25
3 Экспериментальная часть ................................................................................................................ 25
3.1 Задание на работу ........................................................................................................................ 25
3.2 Описание лабораторной установки ............................................................................................... 26
3.2.1 Устройство триодной системы ИПР ............................................................................................. 26
3.2.2 Вакуумная система установки ..................................................................................................... 27
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания ................................................................ 28
3.4 Содержание отчета ......................................................................................................................... 30
Рекомендуемая литература .................................................................................................................. 30
Процессы лазерной и электронно-ионной обработки
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г. План в архиве
Процессы лазерной и электронно-ионной обработки
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве