Методические указания к лабораторной работе
Целью данной работы является детальное рассмотрение триодной системы ИПР с целью изучения ее принципа конструирования, электрофизических характеристик. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоэлектроника» по курсу «Основы технологии оптических материалов и изделий» и по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Технология материалов и изделий электронной техники».
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Исследование процесса ионно-плазменного распыления материалов: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 19 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1342
Оглавление (содержание)
1 Введение
2 Теоретическая часть
2.1 Плазма и ее свойства
2.2 Ионизация газов
2.3 Ионно-плазменное распыление
2.4 Основные требования к оборудованию для ионно-плазменного распыления
2.5 Электрофизические параметры систем ионно-плазменного распыления
2.6 Контрольные вопросы
3 Экспериментальная часть
3.1 Задание на работу
3.2 Описание лабораторной установки
3.2.1 Устройство триодной системы ИПР
3.2.2 Вакуумная система установки
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Содержание отчета
Рекомендуемая литература