Методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1 Введение
2 Теоретическая часть
2.1. Модели ионного распыления
2.2 Эффективность ионного распыления
2.3 Скорость распыления материалов
2.4 Влияние рода газа на травление
2.5 Скорость осаждения пленок при ионном распылении
2.6 Вольт-амперная характеристика газоразрядного устройства для обработки материалов
2.7 Контрольные вопросы
3 Экспериментальная часть
3.1 Вакуумное оборудование
3.2 Электронное оборудование
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Вопросы для самопроверки
3.5 Содержание отчета
Список литературы