Физико-химические основы технологии электронных средств

Введение 4

1. ТЕХНИКА КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ 5

1.1. Техника получения вакуума 5

1.2. Техника измерения вакуума 8

1.3. Оценка времени откачки рабочего объема 10

1.4. Схема вакуумной системы технологической установки 12

1.5. Процесс катодного распыления 13

2. РАСЧЕТ ПОТЕНЦИАЛА ЗАЖИГАНИЯ, ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК И ИНТЕНСИВНОСТИ ОСАЖДЕНИЯ 15

2.1. Расчет потенциала зажигания разряда 15

2.2. Расчет ВАХ разряда 16

3. РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА 20

3.1. Коэффициент распыления 20

3.2. Методика расчета коэффициента распыления 22

3.3. Расчет скорости осаждения 23

3.4. Расчет распределения пленки по толщине 25

4. РАСЧЕТ ТЕМПЕРАТУРНОГО РЕЖИМА КАТОДА-МИШЕНИ 26

5. Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума 28

5.1 Исходные данные для расчета ВАХ разряда, коэффициента распыления, скорости осаждения катодном распылении 29

5.2 Исходные данные для расчета температурного режима катода-мишени 30

6. СОСТАВ ПОЯСНИТЕЛЬНОЙ ЗАПИСКИ К КУРСОВОЙ РАБОТЕ 31

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 36