Основы вакуумных технологий, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП

Учебный план набора 2017 года (План в архиве)

Кафедра электронных приборов


Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018

Основная литература

Барыбин, Анатолий Андреевич. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов. - М. : Физматлит , 2006. - 423[1] с.
Доступно в библиотеке: 130 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 103 экземляра

Дополнительная литература

Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с
Доступно в библиотеке: 225 экземпляров
Молекулярно-лучевая эпитаксия: учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Основы вакуумных технологий

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.12

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ЭП

Курс: 3

Семестр: 5

Учебный план набора 2017 года

План в архиве