Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2015 года (План в архиве)
Автор:
Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Основная литература
Барыбин, Анатолий Андреевич. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов. - М. : Физматлит , 2006. - 423[1] с.
Доступно в библиотеке:
130
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Дополнительная литература
Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с
Доступно в библиотеке:
225
экземпляров
Молекулярно-лучевая эпитаксия: учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Основы вакуумных технологий
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.12
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2015 года
План в архиве