Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2023 года
Кафедра физической электроники
Автор:
Чистоедова И. А.
Год издания: 2023
Основная литература
Современные технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; рец.: В. П. Кривобоков, Е. В. Шестериков ; Минобрнауки России (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 340 с.
Доступно в библиотеке:
46
экземпляров
Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке:
29
экземпляров
Дополнительная литература
Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке:
46
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Современные микро- и нанотехнологии
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.04
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 1
Семестр: 1, 2
Учебный план набора 2023 года