Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2020 года
Автор:
Орликов Л. Н.
Год издания: 2022
Основная литература
Барыбин, Анатолий Андреевич. Электроника и микроэлектроника. Физикотехнологические основы : Учебное пособие для вузов. - М. : Физматлит , 2006. - 423 с
Доступно в библиотеке:
130
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Дополнительная литература
Специальные вопросы технологии: учебное пособие / Л. Н. Орликов; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 229 с
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Молекулярно-лучевая эпитаксия : учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.2.16
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 4
Семестр: 7
Учебный план набора 2020 года