Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники

Учебное пособие

В пособии рассматриваются физические принципы формирования приборов оптической электроники и наноэлектроники; основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов; современные технологии, применяемые при производстве приборов оптической электроники и наноэлектроники. Выделены основные пути использования вакуумной, ионно-плазменой, электронно-лучевой и лазерной технологии в изготовлении приборов оптической электроники; рассмотрены основы автоматизации процессов производства квантовых приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. В пособии рассмотрены технологические средства, наиболее пригодные для создания приборов оптической электроники. Приведены сведения из области применения передовых технологий и сервиса современного оборудования. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении дисциплин «Оптическое материаловедение», «Акустоэлектронные приборы», «Оптическая электроника» и др., а также при выполнении курсовых и выпускных квалификационных работ.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники: Учебное пособие [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2018. — 125 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/8246
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Количество страниц: 125
Скачиваний: 12

Оглавление (содержание)

1 Введение 5

1.1 Общие понятия 5

1.2 Эффекты, реализуемые на приборах оптической электроники 7

2. Технология интегральных микросхем, литография 10

2.1 Литография 10

2.2 Технология приборов оптической электроники 24

2.3 Технология одноэлектронных приборов 25

2.3 Технология изготовления волноводов 27

2.4 Технология формирования акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах (ПАВ) 28

2.5 Технология металлизации звукопровода 31

2.6 Технология оптоэлектронных элементов 32

2.7 Устройство оптоэлектронных элементов 32

2.8 Некоторые характеристики оптоэлектронных элементов 33

3 Специальные вопросы технологии электровакуумных приборов оптической электроники 35

3.1Технология изготовления вакуумных приборов оптической электроники 35

3.2 Технология изготовления разборных приборов оптической электроники 42

4 Вакуумная, электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология 46

4.1 Вакуумная технология 46

4.2 Электронно-лучевая технология 48

4.3 Ионно-лучевая технология 55

4.4 Плазменная технология 72

5 Автоматизация технологических процессов производства приборов оптической электроники 75

5.1 Основные понятия 75

5.2 Алгоритмы преобразования сигналов с датчиков 80

5.3 Системы автоматического управления и регулирования технологическими процессами 82

6. Числовое программное управление в производстве приборов оптической электроники 94

6.1 Математические модели объектов 94

6.2 Разновидности программ для ЧПУ 96

6.3 Шифровка деталей, инструментов и операций в системах ЧПУ 97

6.4 Проектирование автоматизированных систем для ЧПУ 98

6.5 Оптимизация в системах с автоматическим управлением 98

6.6 Методы оптимизации при одном факторе воздействия на технологический процесс 99

6.7 Методы оптимизации при числе факторов больше единицы 99

6.8 Оптимизация систем автоматики по устойчивости 100

6.9 Информационная оптимизация автоматических систем 101

6.10 Многокритериальная система оптимизации «МОМДИС» 102

7 Моделирование технологических процессов производства приборов оптической электроники 103

7.1 Подобие технологических процессов 103

7.2 Моделирование устойчивости систем автоматики 104

7.3 Моделирование работы технических систем 107

8 Компьютеризация технологических процессов 109

8.1 Процесс ввода технологической информации в ЭВМ 109

8.2 Языки пользователя для программирования электрофизических установок 110

8.3 Система «КАМАК» 115

9. Системы автоматического управления технологическими процессами 117

9.1Автоматизированные рабочие места (АРМ) 117

9.2 Робототехнические комплексы и автоматизированные рабочие места 117

9.3 Нейронные сети в технологических процессах 120

Список литературы …………………………………………………… . 124



Похожие пособия