Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники

1 Введение 5

1.1 Общие понятия 5

1.2 Эффекты, реализуемые на приборах оптической электроники 7

2. Технология интегральных микросхем, литография 10

2.1 Литография 10

2.2 Технология приборов оптической электроники 24

2.3 Технология одноэлектронных приборов 25

2.3 Технология изготовления волноводов 27

2.4 Технология формирования акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах (ПАВ) 28

2.5 Технология металлизации звукопровода 31

2.6 Технология оптоэлектронных элементов 32

2.7 Устройство оптоэлектронных элементов 32

2.8 Некоторые характеристики оптоэлектронных элементов 33

3 Специальные вопросы технологии электровакуумных приборов оптической электроники 35

3.1Технология изготовления вакуумных приборов оптической электроники 35

3.2 Технология изготовления разборных приборов оптической электроники 42

4 Вакуумная, электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология 46

4.1 Вакуумная технология 46

4.2 Электронно-лучевая технология 48

4.3 Ионно-лучевая технология 55

4.4 Плазменная технология 72

5 Автоматизация технологических процессов производства приборов оптической электроники 75

5.1 Основные понятия 75

5.2 Алгоритмы преобразования сигналов с датчиков 80

5.3 Системы автоматического управления и регулирования технологическими процессами 82

6. Числовое программное управление в производстве приборов оптической электроники 94

6.1 Математические модели объектов 94

6.2 Разновидности программ для ЧПУ 96

6.3 Шифровка деталей, инструментов и операций в системах ЧПУ 97

6.4 Проектирование автоматизированных систем для ЧПУ 98

6.5 Оптимизация в системах с автоматическим управлением 98

6.6 Методы оптимизации при одном факторе воздействия на технологический процесс 99

6.7 Методы оптимизации при числе факторов больше единицы 99

6.8 Оптимизация систем автоматики по устойчивости 100

6.9 Информационная оптимизация автоматических систем 101

6.10 Многокритериальная система оптимизации «МОМДИС» 102

7 Моделирование технологических процессов производства приборов оптической электроники 103

7.1 Подобие технологических процессов 103

7.2 Моделирование устойчивости систем автоматики 104

7.3 Моделирование работы технических систем 107

8 Компьютеризация технологических процессов 109

8.1 Процесс ввода технологической информации в ЭВМ 109

8.2 Языки пользователя для программирования электрофизических установок 110

8.3 Система «КАМАК» 115

9. Системы автоматического управления технологическими процессами 117

9.1Автоматизированные рабочие места (АРМ) 117

9.2 Робототехнические комплексы и автоматизированные рабочие места 117

9.3 Нейронные сети в технологических процессах 120

Список литературы …………………………………………………… . 124