Специальные вопросы технологии приборов квантовой электроники

Введение 6

1 Вакуумная технология 8

1.1 Средства получения вакуума для приборов квантовой электроники 8

1.2 Диффузионные насосы 12

2 Анализ вакуумных систем 14

2.1 Масс-спектрометрия 14

2.2 Тенденции развития масс-спектрометрии 20

3 Подготовка изделий квантовой электроники к технологическим операциям 24

3.1 Электрофизические методы очистки 24

3.2 Ионное травление материалов 28

4 Пленочная технология, эпитаксия 39

4.1 Процессы конденсации пленок при формировании приборов квантовой электроники 39

4.2 Технология получения высококачественных пленок 43

4.3 Электрофизические методы формирования пленок на вакуумных установках 47

4.4 Искусственная эпитаксия пленок для приборов квантовой электроники 52

4.5 Боковая эпитаксия 57

4.6 Альтернативные методы создания эпитаксиально подобных структур 58

5 Сорбционные процессы на поверхности приборов квантовой электроники 60

5.1 Адсорбция 60

5.2 Десорбционные процессы 60

5.3. Хемосорбция 61

5.4. Абсорбция 61

5.5 Диффузионное газовыделение 62

6 Сертификация технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов квантовой электроники 63

6.1 Общие понятия 63

6.2 Цели и принципы сертификации. Структура Системы сертификации ГОСТ Р 65

6.3 Стандартизация как нормативно-методическая база сертификации и товарной экспертизы 72

6.3.1 Унификация, нормализация и стандартизация в 72

производстве электровакуумных приборов 72

7 Разработка технической документации по методам эксплуатации технического оборудования и программного обеспечения для обслуживающего персонала 82

7.1 Типы документации. Виды инструкций 82

7.2 Правила устройства электроустановок 89

8. Компьютеризация технологических процессов 92

8.1 Рекомендации по использованию ЭВМ в технологии 92

8.2 Процесс ввода технологической информации в ЭВМ 92

8.3 Система «КАМАК» 93

8.4 Автоматизированные рабочие места (АРМ) 95

8.5 Системы автоматического управления и регулирования технологическими процессами 95

Список литературы 102