Специальные вопросы технологии приборов квантовой электроники

Введение 6

Раздел 1 Вакуумная технология 6

1.1 Содержание раздела 6

1.2 Методические указания по изучению раздела 6

1.3 Вопросы для самопроверки 7

Раздел 2 Анализ вакуумных систем 7

2.1 Содержание раздела 7

2.2 Методические указания по изучению раздела 8

2.3 Вопросы для самопроверки 8

Раздел 3. Подготовка изделий квантовой электроники к технологическим операциям 9

3.1 Содержание раздела 9

3.2 Методические указания по изучению раздела 9

3.3 Вопросы для самопроверки 9

Раздел 4 Пленочная технология, эпитаксия 10

4.1 Содержание раздела 10

4.2 Методические указания по изучению раздела 10

4.3 Вопросы для самопроверки 10

Раздел 5 Сорбционные процессы на поверхности приборов квантовой электроники 11

5.1 Содержание раздела 11

5.2 Методические указания по изучению раздела 11

5.3 Вопросы для самопроверки 12

Тема 6 Сертификация технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов квантовой электроники 12

6.1 Содержание раздела 12

6.2 Методические указания по изучению раздела 12

6.3 Вопросы для самопроверки 13

Тема 7 Разработка документации по методам эксплуатации технического оборудования и программного обеспечения для обслуживающего персонала 13

7.1 Содержание раздела 13

7.2 Методические указания по изучению раздела 13

7.3 Вопросы для самопроверки 14

Тема 8 Компьютеризация технологических процессов 15

8.1 Содержание раздела 15

8.2 Методические указания по изучению раздела 15

8.3 Вопросы для самопроверки 15

9 Подготовка к контрольной работе 16

10 Темы для самостоятельного изучения 16

11 Темы индивидуальных заданий 17

Заключение 17

Рекомендуемая литература 18