Основы вакуумных технологий, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника (очная форма обучения, ЭП)

Учебный план набора 2014 года (План в архиве)

Кафедра электронных приборов


Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2016

Основная литература

Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов / А. А. Барыбин. - М. : Физматлит, 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке: 130 экземпляров

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке: 103 экземляра
Вакуумная электроника. Физико-технические основы : учебное пособие для вузов / А. Д. Сушков. - СПб. : Лань, 2004. - 462[2] с
Доступно в библиотеке: 37 экземпляров
Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов / И. П. Степаненко. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Лаборатория Базовых Знаний, 2004. - 488 с
Доступно в библиотеке: 225 экземпляров
Вакуумная техника: Учебник для вузов / Л. Н. Розанов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1990. - 319[1] с
Доступно в библиотеке: 4 экземляра
Основы вакуумной техники : Учебник для техникумов / А. И. Пипко [и др.]. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Энергоиздат, 1981. - 430 с
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров
Электроника : Учебное пособие для вузов / А. А. Щука ; ред. : А. С. Сигов. - СПб. : БХВ-Петербург, 2006. - 799[1] с
Доступно в библиотеке: 3 экземляра
Молекулярно-лучевая эпитаксия: учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Основы вакуумных технологий

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника

Индекс дисциплины: ФТД.3

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ЭП

Курс: 3

Семестр: 6

Учебный план набора 2014 года

План в архиве