Основы вакуумных технологий

Методические указания по самостоятельной работе для студентов направления 210100.62 – «Электроника и наноэлектроника»

Самостоятельная работа направлена на углубление знаний дисциплины и предполагает обобщение изучаемых тем, а темы для самостоятельной проработки обобщают приобретенные знания и позволяют студенту самостоятельно решать задачи, возникающие при внедрении передовых технологий в производстве. Отдельные фрагменты тем могут составлять предмет научных исследований. Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих компетенций: - способность собирать, анализировать и систематизировать отечественную и зарубежную научно-техническую информацию по тематике исследования в области электроники и наноэлектроники (ПК-18); - способность строить простейшие физические и математические модели приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения, а также использовать стандартные программные средства их компьютерного моделирования (ПК-19); - способность аргументировано выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения (ПК-20).

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Основы вакуумных технологий: Методические указания по самостоятельной работе для студентов направления 210100.62 – «Электроника и наноэлектроника» [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 29 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3438
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 29
Скачиваний: 2

Оглавление (содержание)

Введение

Раздел 1 Вакуумная технология

1.1 Содержание раздела

1.2 Методические указания по изучению раздела

1.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 2 Расчет вакуумных систем

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 3 Подготовка изделий к технологическим операциям

3.1 Содержание раздела

3.2 Методические указания по изучению раздела

3.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 4 Пленочная технология, эпитаксия

4.1 Содержание раздела

4.2 Методические указания по изучению раздела

4.3 Вопросы для самопроверки

4.3.1 Пленочная технология

4.3.2 Эпитаксия

Раздел 5

Сертификация технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов

5.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 6

Разработка инструкций по эксплуатации используемых технического оборудования и программного обеспечения для обслуживающего персонала

6.1 Содержание раздела

6.2 Методические указания по изучению раздела

6.3 Вопросы для самопроверки

7 Лабораторные работы

8 Практические занятия

9 Подготовка к контрольной работе

9.1 Темы

9.2 Тестовые вопросы

9.2.1 Вакуумная технология

9.2.2 Подготовка изделий к технологическим операциям

9.2.3 Пленочная технология, эпитаксия

9.2.4 Сертификация и разработка инструкций по эксплуатации

10 Темы для самостоятельного изучения

Заключение

Рекомендуемая литература