Основы вакуумных технологий

Введение

Раздел 1 Вакуумная технология

1.1 Содержание раздела

1.2 Методические указания по изучению раздела

1.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 2 Расчет вакуумных систем

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 3 Подготовка изделий к технологическим операциям

3.1 Содержание раздела

3.2 Методические указания по изучению раздела

3.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 4 Пленочная технология, эпитаксия

4.1 Содержание раздела

4.2 Методические указания по изучению раздела

4.3 Вопросы для самопроверки

4.3.1 Пленочная технология

4.3.2 Эпитаксия

Раздел 5

Сертификация технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов

5.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 6

Разработка инструкций по эксплуатации используемых технического оборудования и программного обеспечения для обслуживающего персонала

6.1 Содержание раздела

6.2 Методические указания по изучению раздела

6.3 Вопросы для самопроверки

7 Лабораторные работы

8 Практические занятия

9 Подготовка к контрольной работе

9.1 Темы

9.2 Тестовые вопросы

9.2.1 Вакуумная технология

9.2.2 Подготовка изделий к технологическим операциям

9.2.3 Пленочная технология, эпитаксия

9.2.4 Сертификация и разработка инструкций по эксплуатации

10 Темы для самостоятельного изучения

Заключение

Рекомендуемая литература