Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Результаты научной деятельности

Очистить

Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии

Статья в журнале
Нано- и микросистемная техника
2018 Опубликовано почти 6 лет назад
Авторы:  Сальников А. С., Калентьев А. А., Попов А. А., Билевич Д. В.

Изучение подходов к построению поведенческих моделей технологического процесса

Статья в сборнике трудов конференции
Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2017», посвященная 55-летию ТУСУРа
2017 Опубликовано около 6 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сидорюк Т. Ю., Сальников А. С.

Виртуальная метрология для контроля процесса химико-механической планаризации

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано около 5 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Горяинов А. Е.

Исследование виртуальной метрологии с использованием физико-технологического моделирования

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано около 5 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Калентьев А. А., Добуш И. М., Гарайс Д. В.

Программа для контроля скорости полировки полупроводниковых подложек в процессе химико-механической планаризации

Свидетельство о регистрации ПрЭВМ
2019 Опубликовано больше 4 лет назад
Автор:  Попов А. А.

Влияние технологических параметров на параметры модели пассивных элементов

Статья в сборнике трудов конференции
Электронные средства и системы управления: XV Международная научно-практическая конференция
2019 Опубликовано больше 4 лет назад
Авторы:  Билевич Д. В., Попов А. А., Сальников А. С., Калентьев А. А.

Исследование влияния параметров техпроцесса на электрофизические характеристики полевого транзистора с барьером Шоттки с применением приборно-технологического моделирования

Статья в журнале
Вопросы радиоэлектроники
2020 Опубликовано больше 4 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Калентьев А. А.

Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве

Статья в сборнике трудов конференции
Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции
2020 Опубликовано около 4 лет назад
Авторы:  Сальников А. С., Попов А. А., Билевич Д. В., Горяинов А. Е., Метель А. А., Файль Т. Н.

Исследование влияния электрофизических характеристик на параметры компактных моделей компонентов сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем

Статья в журнале
Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы
2020 Опубликовано около 4 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Калентьев А. А.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос