Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии

Статья в журнале

Исследованы методы реализации технологии виртуальной метрологии для технологического процесса химико-механической планаризации, применяемого при производстве микроэлектроники и микросистемной техники. Проведен анализ данных с датчиков оборудования химико-механической планаризации, а также экстракция дополнительных признаков для повышения предсказательной способности моделей. Разработаны модели на основе методов машинного обучения, позволяющие предсказывать значения средней скорости удаления материала полируемого слоя по данным с датчиков установки химико-механической планаризации.

Журнал:

  • Нано- и микросистемная техника
  • Издательство "Новые технологии" (Москва)

Библиографическая запись: Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии / А. А. Попов [и др.] // Нано- и микросистемная техника. – 2018. – Т. 20. – №12. – С. 727–737. – DOI: 10.17587/nmst.20.727-738.

Индексируется в:

Год издания:  2018
Страницы:  727 - 737
Язык:  Русский
DOI:  10.17587/nmst.20.727-738