Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Результаты научной деятельности

Очистить

Визуальный анализ данных технологического процесса химико-механической планаризации для построения поведенческой модели

Статья в сборнике трудов конференции
Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2018»
2018 Опубликовано почти 6 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сидорюк Т. Ю.

Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии

Статья в журнале
Нано- и микросистемная техника
2018 Опубликовано почти 6 лет назад
Авторы:  Сальников А. С., Калентьев А. А., Попов А. А., Билевич Д. В.

Виртуальная метрология для контроля процесса химико-механической планаризации

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано около 5 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Горяинов А. Е.

Программа для контроля скорости полировки полупроводниковых подложек в процессе химико-механической планаризации

Свидетельство о регистрации ПрЭВМ
2019 Опубликовано больше 4 лет назад
Автор:  Попов А. А.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос