Программа для контроля скорости полировки полупроводниковых подложек в процессе химико-механической планаризации

Свидетельство о регистрации ПрЭВМ

Правообладатель: Попов Артем Александрович

Номер и дата приоритета: 2019660700, 23 августа 2019

Номер патента/свидетельства и дата регистрации: 2019661737, 06 сентября 2019

Автор:  Попов А. А.