Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Программа для контроля скорости полировки полупроводниковых подложек в процессе химико-механической планаризации

Свидетельство о регистрации ПрЭВМ

Правообладатель: Попов Артем Александрович

Номер и дата приоритета: 2019660700, 23 августа 2019

Номер патента/свидетельства и дата регистрации: 2019661737, 06 сентября 2019

Автор:  Попов А. А.