Программа для контроля скорости полировки полупроводниковых подложек в процессе химико-механической планаризации
Свидетельство о регистрации ПрЭВМ
Правообладатель: Попов Артем Александрович
Номер и дата приоритета: 2019660700, 23 августа 2019
Номер патента/свидетельства и дата регистрации: 2019661737, 06 сентября 2019
Автор:
Попов А. А.