Визуальный анализ данных технологического процесса химико-механической планаризации для построения поведенческой модели

Статья в сборнике трудов конференции

-

Библиографическая запись: Визуальный анализ данных технологического процесса химико-механической планаризации для построения поведенческой модели [Электронный ресурс] / А. А. Попов, Д.В. Билевич, Т.Ю. Сидорюк // Научная сессия ТУСУР–2018: Сборник избранных статей (Томск, 16–18 мая 2018 г.): В трех частях. – Ч. 2. – Томск: В-Спектр, 2018. – С. 144-147.

Конференция:

• Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2018»
• Россия, Томская область, Томск, 16-18 мая 2018,
• Международная

Издательство:

В-Спектр

Россия, Томская область, Томск