Виртуальная метрология для контроля процесса химико-механической планаризации

Статья в сборнике трудов конференции

Виртуальная метрология является одним из наиболее перспективных подходов для контроля и управления технологическими процессами производства микроэлектроники. В данной работе представлены результаты исследования технологии виртуальной метрологии на примере технологического процесса химико-механической планаризации для прогнозирования скорости удаления материала полируемого слоя. Предложены методы экстракции признаков, позволяющих повысить предсказательную способность прогностических моделей. Разработаны моде-ли на основе методов машинного обучения, позволяющие предсказывать значения средней скорости удаления материала полируемого слоя по данным с датчиков установки химико-механической планаризации.

Библиографическая запись: Виртуальная метрология для контроля процесса химико-механической планаризации: [Электронный ресурс] / А. А. Попов [и др.] // Электронные средства и системы управления: Материалы докладов XIV международной научно-практической конференции (Томск, 28-30 ноября 2018 г.): В 2 ч. – Ч. 1. – Томск: В-Спектр, 2018. – С. 56-59.

Конференция:

• XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
• Россия, Томская область, Томск, 28-30 ноября 2018,
• Международная

Издательство:

В-Спектр

Россия, Томская область, Томск