Результаты научной деятельности
Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии
Статья в журнале
Нано- и микросистемная техника
2018
Опубликовано
почти 6 лет назад
Виртуальная метрология для контроля процесса химико-механической планаризации
Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018
Опубликовано
около 5 лет назад
Контроль пропитки – эффективный фактор повышения надежности электродвигателей горнодобывающей, строительной и других отраслей промышленности
Статья в журнале
Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов
2019
Опубликовано
почти 5 лет назад
Автор:
Смирнов Г. В.