Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Результаты научной деятельности

Очистить

Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии

Статья в журнале
Нано- и микросистемная техника
2018 Опубликовано больше 5 лет назад
Авторы:  Сальников А. С., Калентьев А. А., Попов А. А., Билевич Д. В.

Изучение подходов к построению поведенческих моделей технологического процесса

Статья в сборнике трудов конференции
Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2017», посвященная 55-летию ТУСУРа
2017 Опубликовано больше 5 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сидорюк Т. Ю., Сальников А. С.

Виртуальная метрология для контроля процесса химико-механической планаризации

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано больше 4 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Горяинов А. Е.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос