Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Результаты научной деятельности

Очистить

Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии

Статья в журнале
Нано- и микросистемная техника
2018 Опубликовано больше 5 лет назад
Авторы:  Сальников А. С., Калентьев А. А., Попов А. А., Билевич Д. В.

Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов

Статья в сборнике трудов конференции
Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2017
2017 Опубликовано больше 5 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сидорюк Т. Ю., Сальников А. С.

Исследование виртуальной метрологии с использованием физико-технологического моделирования

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано больше 4 лет назад
Авторы:  Попов А. А., Билевич Д. В., Сальников А. С., Калентьев А. А., Добуш И. М., Гарайс Д. В.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос