Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов

Статья в сборнике трудов конференции

Возможности и принципы использования метода опорных векторов для моделирования процесса плазмо-химического травления.

Библиографическая запись: Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов [Электронный ресурс] / А. А. Попов [и др.] // Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2017): Тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (15-19 мая 2017 г., Екатеринбург). - Екатеринбург: УрФУ, 2017. - С. 24-26.

Конференция:

• Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2017
• Россия, Свердловская область, Екатеринбург, 15-19 мая 2017,
• Международная

Издательство:

УрФУ

Россия, Свердловская область, Екатеринбург