Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве

Статья в сборнике трудов конференции

–

Библиографическая запись: Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве : [Электронный ресурс] / А. С. Сальников [и др.] // Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции : сборник материалов III Международного форума (Томск, 26-27 ноября 2019 г.). – Томск : Общество с ограниченной ответственностью "СТТ", 2020. – С. 107-110.

Конференция:

• Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции
• Russia, Томская область, Томск, 26-27 ноября 2019,
• Международная

Издательство:

Общество с ограниченной ответственностью "СТТ"

Russia, Томская область, Томск