Сайты ТУСУРа

Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники, 2024

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Элементная база квантовых технологий, очная форма обучения, ЭП

Учебный план набора 2024 года

Кафедра электронных приборов


Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2024

Основная литература

Орликов, Леонид Николаевич. Специальные вопросы технологии : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 229 с
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр

Орликов, Леонид Николаевич. Молекулярно-лучевая эпитаксия : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 101 экземпляр

Черняев, Владимир Николаевич. Физико-химические процессы в технологии РЭА : Учебник для вузов. - М. : Высшая школа , 1987. - 375[1] с
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Элементная база квантовых технологий

Индекс дисциплины: Б1.В.02.21

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ЭП

Курс: 4

Семестр: 8

Учебный план набора 2024 года