Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Методические указания по самостоятельной работе

Целью самостоятельной работы по дисциплине «Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники» является систематизация, расширение и закрепление теоретических знаний студентов и их применение при решении конкретных задач; развитие инженерных навыков разработки и конструирования технологической оснастки и узлов технологического оборудования, обучение студентов различным методам исследований и анализу полученных результатов, а также развитие навыков самостоятельной творческой работы, что способствует успешному решению конкретных производственных задач и развитию творческой инициативы.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники: Методические указания по самостоятельной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2018. — 25 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/8197
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2018
Количество страниц: 25
Скачиваний: 6

Оглавление (содержание)

Введение 5

Тема 1. Процесс получения материалов для приборов квантовой и оптической электроники 5

1.1 Содержание раздела 5

1.2 Методические указания по изучению раздела 6

1.3 Вопросы для самопроверки 6

Тема 2. Кинетика технологического процесса. Межфазные взаимодействия в технологических процессах 7

2.1 Содержание раздела 7

2.2 Методические указания по изучению раздела 7

2.3 Вопросы для самопроверки 7

Тема 3. Вакуумная технология. Электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология 8

3.1 Содержание раздела 8

3.2 Методические указания 8

3.3 Вопросы для самопроверки 10

Тема 4. Специальные вопросы технологии изготовления приборов и устройств квантовой и оптической электроники 11

4.1 Содержание раздела 11

4.2 Методические указания 11

4.3 Вопросы для самопроверки 11

Тема 5. Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов квантовой и оптической электроники 12

5.1 Содержание раздела 12

5.2 Методические указания по изучению раздела 12

5.3 Вопросы для самопроверки 12

Тема 6. Сервисное обслуживание установок эпитаксии 13

6.1 Содержание раздела. Правила устройства электроустановок. 13

6.2 Методические указания по изучению раздела 13

6.3 Вопросы для самопроверки 13

7 Лабораторные работы 14

8. Практические занятия 17

9. Темы для самостоятельного изучения разделов 18

Методические указания по изучению тем для самостоятельной проработки материала 19

Темы индивидуальных заданий 20

11 Тесты 21

Рекомендуемая литература 24